設計・ウェハ製造工程へのCAEの活用

安全確保としてヒューマンエラーの未然防止や、規格準拠結果の提示は必須です。要求、分析、仕様等を別々のドキュメントで管理し、レビューやトレーサビリティに時間がかかります。
これらを一つのツールに統合管理し、トレーサビリティや妥当性を自動チェックが可能が可能となる事例をご紹介します。

マスク厚が非常に薄いことでマスク透過後の光の振る舞いがレジスト膜上の光強度分布に影響を与えることが考えられます。
FDTD解析により電磁場光学的的な光の扱いを考慮した解析が可能です。マスク設計に光学解析を活用した事例をご紹介します。

結晶の品質向上には、運転条件の最適化が重要であるが実験には多くのコスト、時間が掛かります。
輻射、メルトの流動、アルゴンガスの流れ、坩堝・結晶の回転といった諸条件を考慮した熱流体解析による炉の設計、運転条件検討を行った事例をご紹介します。

クリーンルーム設計では、目に見えない微粒子の可視化、最適な気流制御を図りたいが、気密性・温度・湿度・圧力・殺菌方法など、検討にはコストが掛かります。
室内の３Dスキャンにより設備を含む３D CAD形状を作成し、流れや照度分布により最適な運用条件を迅速に検討可能となる。運用時にもARの活用によるペーパーレス作業支援が可能となります。