マイクロ波加熱における連成解析の活用

Ansysものづくりフォーラム Ansysものづくりフォーラム2019 講演資料｜公開日：2019年11月

プログラム概要

目次

マイクロ波加熱において、チャンバ内の定在波による加熱ムラは、製品の歩留り低下を引き起こします。その加熱ムラを低減する方法として、加熱対象を動かして電磁波の当たり方を変えたり、スターラを用いて、電磁波を反射、撹拌させたりする方法があります。本資料ではスターラを用いて、その効果を確認する事例をご紹介いたします。具体的には、各スターラ角度での電磁界解析を行い、電磁場の平均を取ります。さらに、その結果を伝熱解析にかけて連成解析を行うことで、最終結果を温度として算出します。