表面反応解析で実現するCVDリアクタ設計課題の解決アプローチ(Ansys Fluent実習セミナー)

CVDリアクタ表面反応解析事例を紹介し、本日の実習内容を説明します。

Ansys Fluentを使用して、CVDリアクタシャワーヘッド構成要素とシリコン酸化膜堆積速度およびウェハ面内均一性の関係を評価し、最適な構造を見出します。事前に用意した、シャワープレート細孔直径など代表的な10種類の構成要素計算データから手元で評価していただくほか、ご自身のアイディアを反映した形状モデルを作成して計算することも可能です。表面反応計算を実行するデータ設定の詳細な手順を用意します。
(途中12:00 - 13:00休憩を含みます。)

Ansys FluentでCVD反応解析に必要な以下の2点について解説します。
　3-1 ガス種の粘性係数、熱伝導率、拡散係数推算方法と、レナード・ジョーンズパラメータについて。
　3-2 無次元数レイノルズ数、クヌッセン数、ペクレ数推算手順と有効な使い方。

ペクレ数の有効な使い方の事例として、CVDリアクタのシャワーヘッドに反応副生成ガスが侵入するのを抑制するために、原料ガスとともに導入する不活性ガスの適切な流量を推算します。これをAnsys Fluentで計算して妥当性を評価します。