MEMS(めむず / めむす)

MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systemsの頭文字をとったもので、機械・電子・光などの様々な機能を集積化した微小なデバイスのことを指します。
MEMSの例としては、モバイル機器に搭載される加速度センサーや、光の制御に用いられるミラーデバイスなどがあります。

CAEではMEMSのような微小な機器の解析も行なえます。
微小な構造であるため、構造物と周囲の流体との連成効果が無視できなくなり、スライド膜効果やスクイーズ膜効果などの考慮が必要になる場合があります。
くし歯型静電駆動子のような機器では、電場と構造の連成解析が必要になります。

Ansysにおける取扱い

• MEMSのように非常に小さな形状を取り扱う場合は、μmks単位系がよく利用されます。
• μmks単位系の例
  長さ：μm、質量：kg、力：μN、時間：s、電圧：V、電流：mA

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