解析事例
MEMSミラーデバイスの空気による減衰効果
こんな方におすすめ
- ミラーデバイスの挙動を、減衰まで考慮して解析したい。
- MEMSデバイスの性能評価では、流体の影響を無視できない。
- 流体－構造連成解析は、データの受け渡しに手間がかかるので億劫だ。
MEMSミラーはマイクロサイズのデバイスのため、通常なら無視することができる空気の粘性がミラーの応答に大きく影響します。また、ミラー の駆動により空気が流動するため、構造と流体間の相互の影響を無視することはできません。そのため、構造ー流体相互連成解析（FSI)を実施しま す。
構造と流体の境界面では時々刻々と、変位情報・圧力情報を引き渡すことが必要です。
Ansys Workbenchでは外部ツールを利用することなく、紐付けで必要なデータの受け渡し設定が可能です。
ここでは、構造解析のみで計算したミラーの変位結果と空気による減衰を考慮したFSI解析の結果を比較しました。
解析モデル
図.ミラーモデル
解析結果
デバイスのトータル変位分布
中央断面における流速ベクトル
計測ポイントにおけるZ方向変位比較
関連キーワード
関連情報
関連する解析事例
MORE
関連する資料ダウンロード
MORE-
コントローラ&センサのデータ駆動型シミュレーション
～データ駆動によるロボットのモデリングと制御設計～
-
EMCのお悩みありませんか？ ～EMCソリューション～
-
炭素回収・利用・貯留におけるCO2の削減 ～Ansys Fluentによるソリューション～
～Ansys Fluentによるソリューション～
-
仮想環境で実現するマシンビジョン設計～Ansys Speosによるカメラ&照明最適化ソリューション～
～Ansys Speosによるカメラ&照明最適化ソリューション～
-
構想設計ですぐにリアルタイム検証 ～解析専任者ゼロでも使いこなせるAnsys Discovery～
～解析専任者ゼロでも使いこなせるAnsys Discovery～
-
流体機器設計の新たな一歩
～Ansys Discoveryで加速する設計改革～
-
筐体の冷却性能を構想設計から見える化 （手戻りを削減できる）
～Ansys Discoveryで始める電気筐体製品の設計改革～
-
若手でもすぐに使えるリアルタイム解析 （勘と経験からの脱却）
～Ansys Discoveryによる30名規模メーカーの設計改革～
