コントラスト最適化の概要 射出瞳上の2点間での位相差を測定 MTF(空間周波数)が最大になる位置で位相差が最小値となるような評価関数を構築 コントラスト最適化のメリット MTF値を直接最適化するよりも高速に解像力を最適化 最適化 製造歩留まりの最適化
