流体解析表面反応機能を用いたCVDの解析事例

  • 流れ場を加味した表面反応効率の評価を行いたい
  • 原料ガス/生成ガスの濃度分布を把握したい

Fluentを用いたCVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相蒸着)の事例です。こちらの事例では気相化学種、堆積化学種、固体化学種間の詳細反応を考慮しております。
Fluentは詳細化学反応速度式を効率良く解くための特別なソルバー(スティフソルバー)も用意しており、化学反応に特化したソフトであるCHEMKIN-CFDとのインターフェースも兼ね備えております。

解析結果


解析種類

対応プロダクト

以下いずれかのライセンスを使用

※ANSYS CFD-Flo/ANSYS CFXはカスタマイズ機能を利用


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