アライメント
アライメントとは
機器の部品やユニットの相互位置関係を調整すること。アライメントを行うことで、機器の仕様通りの性能、信頼性、動作安定性、寿命などが確保できます。
必要な位置の精度を"アライメント精度"と言い、一般に距離や角度の単位で表されます。
また、本来の求める位置関係と実際との差を"アライメント誤差"と言います。
アライメント精度は応用機器により大きく異なります。
光を利用したアライメントの精度限界は波長に依存し、高精度の制御には、短波長の紫外線レーザを使用する場合もあります。
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