製品情報
PRODUCT
3D表面形状測定システム
Profilm3D
白色光干渉技術を用いたシステムで、非接触で段差・粗さを含む三次元形状を測定
Profilm3Dは、垂直走査白色干渉法と位相シフト干渉法を組み合わせ、ナノレベルの精度で粗さ・段差などの表面形状を非接触で測定するシステムです。XY自動ステージおよびオプションの対物レンズを用いる事により、目的のエリア、サイズで測定が行えます。高精度の白色干渉方式の測定システムでありながら低価格を実現しています。
| 主な特長 |
低価格：必要な機能を全て具備しながら低価格を実現 高精度：位相シフト干渉法を採用し、ナノメートルオーダーの高さ分解能を実現 コンパクト：本体のフットプリントは30x30cmと小さくコンパクトな設計 操作性：基本操作はマウス操作だけ、誰でも簡単操作 |
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| 主な仕様 |
測定仕様
装置仕様
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測定例
粗さの測定
シリコン基板上の粗さの測定。ISOに準拠した線粗さ(R)と面粗さ(S)の両方の測定ができます。
凹凸形状の測定
光拡散シート表面(左)やカバーガラスの傷(右)のナノオーダの凹凸を測定。ワンショットで１㎜角エリアのナノオーダの凹凸形状を測定可能。
レンズの形状
レンズの形状を測定。高精度での表面形状の観察ができます。
