製品情報
顕微分光膜厚計 OPTM series
非破壊・非接触で膜厚・光学定数解析が可能な顕微分光測定器
1pointの測定を1秒で完了でき、初めての方も簡単に解析が可能
1pointの測定を1秒で完了でき、初めての方も簡単に解析が可能
OPTM Seriesは顕微分光法により薄膜やフィルムの反分光射率を計測することで、測定対象の紫外〜可視〜近赤外までの物質の特性を解析します。カメラによる測定位置決めや簡易なソフトウェアにより、どなたでも簡単に薄膜解析が行えます。
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| 製品ラインナップ 製品仕様 |
 
 
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特長
裏面の反射率を受けず、透明基板でも絶対反射率測定が可能
照明光学系の工夫により、裏面の反射の影響を受けずに表面の反射率のみを測定できます。
そのため、裏面の処理等を行うことなく試料表面の反射率特性、膜厚測定、光学特性(n,k)を解析できます。
また非接触・非破壊で測定が可能です。
幅広い波長範囲で高速な顕微分光測定を実現
複数の製品ラインナップを揃えており、測定波長範囲や解析したい膜厚に合わせ、最適な機種をお選びいただけます。
顕微分光(最小スポット径：φ3um〜)によるスポット測定を、1ポイント1秒以内に測定可能です。
光学シミュレーションソフトウェアとの連携
光学設計ソフトウェアAnsys Zemax OpticStudioや3次元光学解析ソフトウェアAnsys Speos、フォトニクス解析ソフトウェアAnsys Lumeical STACKにて、多層膜の定義、解析、光学系全体の評価が行えます。また、光学シミュレーションソフトSetfos(Fluxim社)とOPTMを組み合わせた設計・開発も可能です。
みなさまの試作品検証、リバースエンジニアリング(不具合の原因調査や実製品の分析)にいかがでしょうか？
小型で安価のため、手軽に皆様の手元で計測できます。外部の検査施設や遠方の測定設備に頼る必要はありません。
(OPTMで測定したデータはAnsys Zemax OpticStudioやAnsys Speos、Ansys Lumeical STACKのモデリングデータとして使用可能です)
光学設計ソフトウェアAnsys Zemax OpticStudio
OpticStudioは結像光学系や照明光学系の設計・解析を行うためのソフトウェアです。シーケンシャル光学系やノンシーケンシャル光学系製品の性能を様々な解析機能で評価でき、製品仕様を満たすよう自動設計で形状、材質を最適化することができます。
OpticStudioは光学部品の設計のみならず、多層膜コーティングのための機能も兼ね備えています。光学部品にコーティングを施したモデリングができ、それに即して解析計算を行います。コーティングデータは膜厚や材質、屈折率や消衰係数から定義したものを使用します。
OPTMの各種評価結果を基にOpticStudioのコーティングデータを作成すれば、設計データに実製品のコーティングを施したモデリングができ、実測に即したシミュレーションを行えます。したがって、実製品のコーティング状況を光学製品の設計データとして管理することができます。
3次元光学解析ソフトウェアAnsys Speos
Ansys Speosは、照明システムの測光性能(強度、照度、輝度)をシミュレーションする機能を搭載しています。
- OPTMで測定した屈折率は、マテリアルデータに反映させることができ、3Dモデルのバルクに光学特性を与えることができます。
- 塗装状態(塗ムラや下地の凹凸の影響など)を3Dモデリングし、見栄えを光学解析することができます。
- 膜厚が薄い場合や多層膜では、Ansys LumericalやAnsys Zemax OpticStudioなどによって、各膜厚、屈折率の実測値から反射特性を求め、コーティングデータを作成することもできます。コーティングデータは、3Dモデルの表面に光学特性を与えることができます。
- 迷光の発現はコーティング性能によって変わるため、コーティングデータを利用すると、より実測に近い迷光解析が可能になります。
フォトニクス解析ソフトウェアAnsys Lumerical
Ansys Lumericalはフォトニックデバイス・システムの解析ソフトウェアを備えたパッケージで、電磁光学によりマイクロ・ナノオーダーの構造を持つデバイスなどのシミュレーションが可能です。Lumericalは複数のソルバからなり、中でもSTACKは多層薄膜構造の計算に特化したソルバです。
STACKに多層薄膜各層の複素屈折率・膜厚を入力すると、多層薄膜の透過率・反射率の角度・波長依存性を計算したり、有機ELのような発光デバイスの発光特性を解析したりすることが可能です。
OPTMによる測定結果から各層の複素屈折率を測定してSTACKに入力することで、膜厚など多層薄膜の構造を変えた場合の透過・反射率を計算したり、薄膜構造の発光デバイスの特性を予測したりすることが可能です。
有機EL・太陽電池シミュレータSetfos
Setfosは有機EL・太陽電池の光学・電気特性解析用シミュレーションソフトウェアで、サンプルの反射率や屈折率の実測値で各種特性解析が行えます。
弊社がお取り扱いをしている光学ソフトSetfos(Fluxim社)とOPTMを組み合わせた設計・開発例をご紹介いたします。
有機ELの光学シミュレーション
OPTMで得られた屈折率をSetfosに入力することで、各種解析を行えます。
屈折率に分布がある材料を使った場合に素子の特性がどのように変化するか解析できます。
薄膜太陽電池の光学シミュレーション
薄膜太陽電池での光学シミュレーションも屈折率を測定することで可能になります。