特長

  • エリプソメーターにはない厚膜測定、絶対反射率測定を実現
  • 極薄膜1nm〜厚膜92µmまで測定可能なラインナップ
  • 非接触・非破壊測定
  • 紫外〜可視光〜近赤外に対応できるラインナップ
  • 1ポイント1秒以内の高速測定
  • エリアセンサーによる安全機構
  • 初めての方でも光学定数解析が可能な解析ウィザード
  • 測定シーケンスをカスタマイズできるマクロ機能を搭載
  • 各種カスタマイズに対応

 


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