透明基板でも裏面の反射を除去して測定できるので、高精度な絶対反射率を測定できます。
光干渉法では膜が薄くなるほどに反射率の変化が小さくなります。 紫外域での測定なら極薄膜1nm程度でも測定できます。 さらに、偏光・変角無しでも膜質解析、膜厚解析が可能です。
膜厚測定に必要な光学定数(n : 屈折率、k : 消衰係数)を解析できます。 極薄膜、金属薄膜に関わらず高精度な結果を解析できます。
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