測定項目

絶対反射率測定

透明基板でも裏面の反射を除去して測定できるので、高精度な絶対反射率を測定できます。

膜厚・膜質測定

光干渉法では膜が薄くなるほどに反射率の変化が小さくなります。
紫外域での測定なら極薄膜1nm程度でも測定できます。
さらに、偏光・変角無しでも膜質解析、膜厚解析が可能です。

光学定数nk解析

膜厚測定に必要な光学定数(n : 屈折率、k : 消衰係数)を解析できます。
極薄膜、金属薄膜に関わらず高精度な結果を解析できます。