製品ラインナップ、製品仕様

タイプ OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長範囲 230nm〜800nm 360nm〜1100nm 900nm〜1600nm
膜厚範囲* 1nm〜35μm 7nm〜49μm 16nm〜92μm
サンプルサイズ Max.200mm×200mm×17mm
スポット径 φ10μm 〔反射20倍レンズ〕、その他

※上記は自動XYステージ付きの仕様となります。
*膜厚範囲はSiO2換算となります。

タイプ 自動XYステージタイプ 固定フレームタイプ 組込みヘッドタイプ
寸法(WDH) 556×566×618mm 368×468×491mm 210×441×474mm
90×250×190mm*
重量 66kg 38kg 23kg  4kg*
最大消費電力 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

*AC/DC電源ユニット

 


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