顕微分光膜厚計 OPTM series

製品概要

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。各種フィルムや多膜層を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で、初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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分光とは

光には複数の波長が存在します。光をその波長ごとに分けることを分光といいます。 分光を代表する例がプリズムです。 プリズムに入射した白色光は屈折します。波長ごとに屈折率が異なるため屈折角も異なり、分光されます。

OPTM seriesが採用する顕微分光とは、光学顕微鏡で微小領域に”分光した単色光”を照射して反射率を測定することで観測対象の物質を解析する方法です。OPTM seriesは顕微分光で様々な測定・解析が行えます

 


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