製品情報
PRODUCT
フィゾー型 レーザー干渉計
Apre Sシリーズ
様々な製品に対応した高精度レーザー干渉計
米国アプレ社が製品化したフィゾー型レーザー干渉計です。光学部品の製造プロセスを進化させ、現在から未来にわたる計測ニーズに対応しています。精密加工部品の表面形状、中間空間周波数凹凸成分の測定にも効果を発揮し、高品質の計測を実現します。
| 利用用途 |
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|---|---|
| 測定項目 |
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特長
回折限界までのイメージ分解能の向上
イメージ分解能(Image Resolution)とは、どれだけ小さな領域の凹凸を計測できるかの水平方向の指標です。S50｜HRの場合、50μmの高いイメージ分解能を実現します。近年のCNC研磨加工、精密切削加工では、中間領域の空間周波数の凹凸制御は重要課題となっております。加工ツールや加工駆動系の状態を見るには、それ相応のイメージ分解能が必要となります。
検出可能な干渉縞(フリンジ)本数の最大化
干渉縞本数(Fringe Resolution)とは、観察視野において、干渉計測が可能な測定対象面の傾斜限界です。Sシリーズで位相シフトする場合、最大650本/視野に対応します。多くの干渉計は、視野絞りにより傾斜面からの戻り光を遮断してしまいますが、この限界を改善し、より大きな収差の波面の計測が可能となります。
画像歪み(水平方向誤差)の低減
画像歪み(Image Distortion)とは、測定対象の位置が、測定データとして正しく再現されない割合を表します。Sシリーズは、わずか0.06％未満の画像歪み(HR、HRxの場合、SRは0.1％)を実現します。近年のCNC研磨は、形状データからの補正加工が主流となっております。画像歪みの存在は、誤った位置を加工するリスクとなります。
干渉計内部のリトレースエラーを最小化
複数の干渉縞がある場合での測定時に発生するリトレースエラーを最小化する光学デザインと、そのパフォーマンスを引き出す光学部品を選定し、計測における不確かさを極限まで低減します。Sシリーズは、干渉縞512本でもλ/15未満のリトレースエラー(HR・HRxの場合、SRは256本)を実現します。これにより大きな収差波面の高精度な計測が可能です。また、干渉縞本数の調整が不要で、キャリアフリンジ法では誤差補正も不要となります。
データ取得/解析ソフトウェア REVEAL™
Apre社開発の専用ソフトウエアREVEAL™で測定からデータ解析、レポート作成などをサポートします。
- 測定開始からレポート作成まで、10秒以下
- Windows 10, 64-bit オペレーティングシステム
- 既存データの活用(.dat 形式)、最新の.h5、.hdf5形式対応
- 日本語対応
- 無償バージョンアップ
製品仕様
| S50|HR【SR】 | S100|HR【SR】 | S150|HR【SR】 | ||
|---|---|---|---|---|
| システム仕様 | ||||
| 光線口径 | 51mm (2inch) | 102mm (4inch) | 153mm (6inch) | |
| 光軸高さ | 108mm (4.25inch) | 133mm (5.24inch) | ||
| フォーカス範囲 | ±2,000mm | ±4,500mm | ||
| 本体寸法 | L | 630mm | 700mm | 902mm |
| W | 290mm | 320mm | 408mm | |
| H | 180mm | 250mm | 239mm | |
| 重量 | 25kg | 33kg | 50kg | |
| 計測原理 |
位相シフト法(PSI)、振動に強い位相シフト法(VTPSI)、 振動の影響を受けないキャリアフリンジ法、SCIオプション対応可能 |
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| アライメントシステム | 2スポットレティクル（角度範囲2度） | |||
| レーザー光源 | 波長安定化SLM 633nm He-Neレーザー | |||
| レーザー光源波長安定性 | <0.0001nm | |||
| 可干渉距離 | >100m | |||
| 光線偏光 | 円偏光 | |||
| 光源オプション | CI光源、波長変調レ―ザー光源、近赤外波長光源 | |||
| カメラ解像度 | 2044 x 2044 画素 [1024 x 1024 画素] | |||
| 最小シャッター速度 | 9μ秒 | |||
| デジタイゼイション | 12ビット | |||
| コンピュータ&ソフトウェア |
高性能PC、Windows® 64-bit OS （ノートPC オプション可能）及びREVEALソフトウエア ※Windowsは米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です |
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| 本体固定方向 | 水平、または垂直 | |||
| 対応アクセサリー | 業界標準バヨネットマウント | |||
| 性能仕様 | ||||
| 画像解像度 (回折限界) | 50μm【100μm】 | 100μm【200μm】 | 150μm【300μm】 | |
| 画像歪み (水平方向) | <0.1% (全フォーカス範囲) | |||
| 画像湾曲 (像面湾曲) | <30μm (試料距離2mにて) | |||
| フリンジ解像度 | 650[325]本/口径 (PSI & VTPSI)、500[250]本/口径 (キャリアフリンジ) | |||
| リトレース誤差 ※1 | < 1/20波長 ※干渉縞本数500[250]以下の場合 | |||
| RMS単純再現性 ※2 | ＜0.5nm RMS 2σ、平均化なし | |||
| RMS波面再現性 ※3 | ＜0.5nm RMS 2σ、平均化なし | |||
| 試料反射率 |
0.5% 〜40% （直接測定）、 41% 以上（減衰フィルターまたはコーティング対応） |
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| 環境仕様 | ||||
| 温度 | 15〜30℃ | |||
| 温度変化 | < 1.0℃/15分 | |||
| 湿度 | 5% 〜 95% 、結露がないこと | |||
| 振動対策 | 防振台の使用を推奨 | |||
※1 : リトレース誤差：ヌルフリンジ(干渉縞0本）の測定データと、最大フリンジ数の測定データの差分として定義。Zernike36項の成分での減算。
※2 : RMS単純再現性：短い平面キャビティでの36回の連続測定におけるRMS値の2σとして定義。各測定は平均化なし。
※3 : RMS波面再現性：短い平面キャビティでの36回の連続測定における平均データを基準とした各データの差分のRMS値+2σとして定義。各測定は平均化なし。