微細表面構造に対する光線追跡法と厳密な電磁光学手法を用いた際の比較

本資料をおすすめの方

微細構造を持つ光学デバイスの研究や開発、設計を担当されている方
電磁光学的手法でより高度な研究に取り組まれたい方

概要

回折格子の複雑さが増すにつれて、混合レベル数値解析手法のテクニックは効率的なモデリングにとって非常に重要になりつつあります。この資料では、マイクロ/ナノ構造に対応した電磁光学ツールと大きな基板や全体構造のモデリングなどを行い、全体的なパフォーマンスを評価するための光線追跡をベースとしたツールの混合レベルシミュレーションについて、色々なケースに対して光線追跡単独でのアプローチと混合レベルシミュレーションでのアプローチで、結果がどのように異なるのかを比較しています。