回折格子の複雑さが増すにつれて、混合レベル数値解析手法のテクニックは効率的なモデリングにとって非常に重要になりつつあります。 この資料では、マイクロ/ナノ構造に対応した電磁光学ツールと大きな基板や全体構造のモデリングなどを行い、全体的なパフォーマンスを評価するための光線追跡をベースとしたツールの混合レベルシミュレーションについて、色々なケースに対して光線追跡単独でのアプローチと混合レベルシミュレーションでのアプローチで、結果がどのように異なるのかを比較しています。
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