自動配線機能を使ったマスクレイアウトの作成

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概要

シリコンフォトニクスでは1つのチップ内に複数の部品が配置されるため、個別の機能を持った要素部品同士をつなぎ合わせるための光配線パターンも必要になります。たとえば下図のような構成による4x4の光スイッチでは6つのチューナブルフィルター(青線)により構成されますが、実際には各フィルター間は直線・曲げ・交差導波路により構成されています(赤線)。
 このような複雑な光配線を含む大規模な光集積回路(PIC)のレイアウト図の作成は大変であり、また光配線によって回路特性も変化するため、配線の影響を含めた特性解析をすることが困難でした。

使用したシミュレーションソフト
光ICレイアウト設計ソフトウェア OptoDesigner
光デバイス設計ソフトウェア RSoft

 

 


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