こんなことで困っていませんか?
シリコンフォトニクスを構成する要素機能部品の特性はウエハ間やプロセス間でばらつきが生じるため、最終的に得られる平均的な特性値や歩留まりは通常のパラメータスキャンの手法では求めることが難しく、誤差要因になりうる複数のパラメータに対し誤差分布を与えて解析する必要があります。
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