UV-LED リソグラフィによるマイクロレンズアレイの製作

慶応義塾大学 松本様

数100μmサイズの曲面形状を一括大面積露光により製作でき、かつプロセルの簡易化・低コスト化を可能にするUV-LEDアレイを用いた曲面形成リソグラフィを提案している。光学特性にて、試作したマイクロレンズにレーザー光を照射したときに、最小でどの程度集光できるのかを求めるためにLightToolsを利用した。

使用ツール
照明設計解析ソフトウェア LightTools

※内容の詳細は、下記ボタンより資料ダウンロード頂けます。

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