平行平面板による収差発生と補正について (2000年度)

キヤノン株式会社 稲 様

光学の結像を利用して、高精度な検出で、実際に製品適用しているものの一つに、半導体製造装置が上げられます。その中でも本報告は、アライメント検出系と重ね合せ検査装置で使用されている計測用結像光学系の収差補正に関する事例を紹介する。特に、設計段階、製造段階においての収差補正について述べ、平行平面板を使用してどんな収差がどの様に発生し、その収差発生を使用してどの様に補正できるかを、主にTTL方式のアライメント光学系に対して適用した場合についての報告を行います。

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光学設計評価プログラム CODE V

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