〜量産時の歩留まり解析ソリューション〜 シリコンフォトニクス製造時の特性ばらつきの解析

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こんなことで困っていませんか?

  • 製造時に要素部品の特性ばらつきが最終的な特性にどのように影響するかを見積もりたい
  • 最終特性の分布状態から歩留まりを見積もりたい

シリコンフォトニクスを構成する要素機能部品の特性はウエハ間やプロセス間でばらつきが生じるため、最終的に得られる平均的な特性値や歩留まりは通常のパラメータスキャンの手法では求めることが難しく、誤差要因になりうる複数のパラメータに対し誤差分布を与えて解析する必要があります。

使用ツール
光デバイス設計ソフトウェア RSoft

 

 


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