Global optimization and desensitization
グローバル最適化と感度低減

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John Rogers
Synopsys Inc., 199 S. Los Robles Ave., Suite 400, Pasadena, CA 91101

公差に対する感度は光学設計においてよく知られている問題です。多くの場合、異なる公差感度を持つ複数の設計により、光学設計の問題を解決します。よくあることですが、ベストな"設計時"の性能を持つ解がベストな"組み立て時"の性能を持つ解と限りません。結局、重要なのは設計時の品質ではなく、製造時の品質です。この論文で紹介するように、最適化で使用される典型的な評価関数(たとえば、公差を与える前のモデルのRMSスポット径やRMS波面誤差)は実際の組み立て時の結像品質とは通常あまり相関がありません。実際、多くの場合で相関がほとんどありません。これを避ける戦略として知られているものの1つは、特に感度の高い形状の設計解に対してペナルティを与える評価関数を何か追加することです。究極に理想的な評価関数は、組み立て時の性能と関連がどれだけあるかによって決定されるものです。このような戦略は、グローバル最適化を使った設計段階で特に重要です。この段階では最適化エンジンが多くの異なる形状の設計解を出し、それらの多くが構成や公差感度が初期設計と大きく異なるためです。この論文では、"感度"パラメーターを評価関数に追加することを調査します。評価関数(感度パラメーターの有無両方において)と組み立て時の性能の相関だけでなく、感度パラメーターにおける重みの選択についても述べます。

キーワード:感度低減、製造のための設計、光学設計

使用ツール
光学設計評価プログラム CODE V

 

 


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