A Review of Skew Aberration, the Intrinsic Polarization Aberration in High NA Optical Systems

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Garam Young, Wai Sze T Lam, Russell A. Chipman
R&D Engineer, Optical Solutions Group, Synopsys, Inc. 199 S Los Robles Ave. Suite 400 Pasadena CA 91101
Graduate Research Assistance, College of Optical Sciences, University of Arizona, 1630 E University Blvd. Tucson AZ 85721
Professor, College of Optical Sciences, University of Arizona, 1630 E University Blvd. Tucson AZ 85721

スキュー収差は偏光収差で、光学系に固有のものであり、また高いNAの光学系にとって大きな影響があります。臨界角コーナーキューブ光学系を分析し、スキュー収差の効果を検討します。

使用ツール
光学設計評価プログラム CODE V

 

 


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