非冷却赤外線アレイセンサ用マイクロレンズに関する研究

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立命館大学 木股様、鈴木様

近年、民生用途で非冷却赤外線アレイセンサの需要が高まり、センサのさらなる微細化、高感度化が求められている。本研究の目的は、マイクロレンズを搭載することよって非冷却赤外線アレイセンサの高感度化することである。マイクロレンズによって各画素に入射した赤外線をセンサ受光面に集光することで、受光面のサイズを変更すること無く赤外線の入射パワーを増大する。これによりセンサの高感度化が可能となる。マイクロレンズを搭載した赤外線センサは図1 のように主レンズとマイクロレンズが一体化された検出器アレイで構成される。主レンズは結像レンズ、マイクロレンズは集光レンズとしての役割を担う。マイクロレンズは各画素内に入ってきた赤外線をセンサ受光面内に集光するために取り付けられる。CODE V はマイクロレンズの設計ツールとして活用した。

使用ツール
光学設計評価プログラム CODE V

 

 


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