光の直進性を利用した非球面測定法の研究

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大阪大学 打越様

本研究では、光検出器QPD(Quadrant photodiode)を用いて測定試料の法線ベクトルを測定します。CODE Vを用いて、実際に装置に用いている光学配置で非球面形状を有したミラー測定した場合、QPD上でどのようなビームプロファイルになるのか光学シミュレーションを行いました。

使用ツール
光学設計評価プログラム CODE V

 

 


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