新型軟X線顕微鏡対物鏡の開発

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東北大学 神野様

軟X線を用いた結像系は、高い空間分解能が得られ、顕微光電子分光や顕微鏡など微小領域の解析分野へ応用されています。軟X線領域で用いられる光学系の中でも、開口数が大きくとれるSchwarzschild型光学系は、高分解能で明るい像が期待できます。現在、軟X線用光学系の応用には1000倍程度の高い結像性能が要求されています。本研究では、高倍率と低収差を両立した新型軟X線顕微対物鏡の新規設計解を得るために、CODE Vを利用しました。光線追跡からの数値計算により、ザイデル収差、および高次の球面収差を補正し、新規設計解を得ました。

使用ツール
光学設計評価プログラム CODE V

 

 


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