〜光線追跡法とRCWA法との組み合わせ〜 [014] 波動光学連成解析ソリューション

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課題


Q. LightToolsで光の波動性を考慮できれば、微細構造の解析結果も実測に一致するはずなんだよなぁ。。。

解決

A. 昨今、LightToolsを利用されている方からの、微細構造における光の振る舞いの正確なシミュレーションへのニーズが増加してきています。これには、波動光学を考慮する必要がありますが、LightToolsは幾何光学ソフトのため、単体では正確にシミュレーションできません。

この事例では、波動光学ソフトで得られた解析結果をLightToolsのユーザー定義光学特性機能を利用して面特性として設定することにより、LightToolsで波動光学の影響を含めた、より現実に即したシミュレーションを実施する方法についてご紹介します。

使用ツール
照明設計解析ソフトウェア LightTools
光デバイス設計ソフトウェア RSoft

 

 


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