スロットカバー

図1.光源スロット部分の測定不能領域
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従来のIS-SAでは照明部のスロットの影響により、スロット開口部の領域は直接測定を行うことができず、直接散乱データを得ることができなかった領域に関してはソフトウェア上で補完によるデータの推測のみ可能でした(図1)。IS-SAにオプションのスロットカバーを搭載することにより、スロット部に開閉式のカバーを設け、照射に必要な箇所のカバーのみを開き測定することが可能です。
利点
スロットカバーオプション装着時の動作
スロットカバーの装着を行った際の反射・透過散乱測定時のイメージを図5,6に示します。参照光源を入射させるための必要なポートのハッチのみが自動的に開くので、従来大きく開いていたスロット開口部のデータ取得不能領域を大幅に縮小することが可能です。
 図5.反射測定イメージ
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 図6.透過測定イメージ
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図7は実際のスロットカバー部の写真です。個々のスロットカバーの開閉はIS-SA測定プロクラムに制御されるため、ユーザーサイドで毎回開閉のセッティングを行う必要はありません。反面、特定のポートのみを開いた状態で評価を行うことも可能です。

図7.スロットカバー装着図
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スペキュラーポートカバー
鏡面反射成分が強く出るサンプルの測定を行う際には、図8に示されるように、強いピーク成分のため周辺の拡散反射成分の詳細な評価が困難である場合があります。このような際にはスペキュラーポートカバー(図9)を用い、鏡面反射成分を除去した状態で測定を行うことで拡散反射成分を精度よく評価を行うことが可能です。

図8.鏡面反射成分の強いサンプル測定例
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図 9.スペキュラーポートカバーの動作イメージ
利点
- スペキュラーポートカバーはユーザにより開閉が可能
- スペキュラーポートカバーを開いた際には拡散反射成分の詳細な評価が可能

図10.スペキュラーポートカバーを用いた拡散反射成分の測定
- 15ピッチで複数の位置に設置(特注で7.5度ピッチも可能)
- 既存のIS-SAに追加オプションとして導入が可能(スロットカバーと同時搭載可能)