ANSYS Conference 2010 発表事例論文 ANSYS / HFSSによるRF MEMSスイッチと可変フィルタデバイスの設計事例

発表団体名

太陽誘電株式会社

発表事例論文要約

RF MEMSスイッチはマイクロスケールの微小機械構造体で高周波信号を制御するもので、次世代無線通信機器のキーデバイスとされる。前回発表では熱駆動型スイッチを取上げ複数の物理現象を扱ったアクチュエータの解析事例を紹介したが、今回はこのラテラルに駆動するスイッチを帯域可変フィルタに応用したデバイスの設計事例と試作結果について紹介する。フィルタはRF MEMSスイッチ、スパイラルインダクタ、MISキャパシタを同一のSi基板上にインテグレーションしたもので、個別素子およびそれらを統合した設計と結果について述べる。

発表イベント

ANSYS Conference 2010

解析種類


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