連成解析サーマルアクチュエーターの連成解析

  • サーマルアクチュエーターの特性を評価したい方
  • 電気的条件で駆動する構造物の応答を評価したい方
  • MEMSの解析を行いたい方

アクチュエータに電流を流すことによりジュール熱が発生し、温度分布が現れ、アクチュエータが変形します。アクチュエータの上下の厚みが異なるため温度差が生じ、アニメーションのような挙動となります。実際、このアクチュエータの右先端にミラーなどが連結されており、電流を流すことによってその物体を移動させることができます。また、振動によって伴う内部摩擦の発熱も同時に考慮することが可能です。

解析モデル

サーマルアクチュエーター
全体図
電気-伝熱マイクロアクチュエータ
電気-伝熱マイクロアクチュエータ

解析結果

サーマルアクチュエーター
※画像をクリックしますと
アニメーションが見えます

変位図

温度分布図

解析種類

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