連成解析トーションミラーのねじれ解析

  • トーションミラーの特性を評価したい方
  • MEMSの解析を行いたい方
  • 電場と構造の連成解析を実施したい方

ミラーの下部には電極が配置され、ミラーと電極との間に発生するクーロン力により、ミラーが傾きます。同じ形状が周期的に配列されていますので、一部のみを取り出し解析を行います。電極間に発生するクーロン力を求めるために静電場解析を実行し、そのクーロン力によるミラーのねじれを構造解析で求めます。ミラーの動特性・電気特性を持ったこの要素を用い過渡的なシステム解析を高速に行うことが可能です。

解析モデル

トーションミラーのねじれ
実物
トーションミラーのねじれ
モデル

解析結果


図.変位コンター図
※画像をクリックしますと
アニメーションが見えます

解析種類


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