FSI 解析(流体-構造連成解析)MEMSミラーデバイスの振動解析事例

  • 流れを考慮した減衰効果を加味したい

MEMSミラーデバイスの振動解析事例です。流体-構造連成解析機能を用いることで、周辺空気の流動状態を加味した、より厳密な振動解析(減衰効果の把握)を実施することができます。
またANSYS CFX(ANSYS CFD-Flo)-ANSYS Mechanical APDLの双方向連成解析機能を用いると静電駆動を考慮することも可能です。

解析結果


圧力分布アニメーション(変位倍率30倍)

素子変形アニメーション(変位倍率30倍)


流速ベクトルアニメーション(変位倍率30倍)

解析種類

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