流体解析融解/凝固モデルを用いたチョクラルスキー成長過程の可視化事例

  • 凝固現象を加味した流れ場の可視化を行いたい

シリコンウエーハのもととなる単結晶(インゴット)を作成する方法の一つである、『チョクラルスキー法(Czochralski法,引き上げ法)』を模擬した解析事例です。
こちらの解析事例では液体金属が固化する現象や、固化した金属が連続的に引き抜かれてい行く状況をモデル化しています。
またマランゴニ対流(表面張力の不均一性が原因で流動が発生する現象)を考慮することで、流体金属の自由表面における流れも再現することができます。

解析結果


液体金属の質量分率

液体金属の流速分布

解析種類

対応プロダクト

以下いずれかのライセンスを使用


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